應變加速度傳感器測量的原理十分簡單并且相當可靠，其理論基礎為與慣性質量有關的牛頓第二定律。
應變加速度傳感器元件的基本構成包括主體、彈簧和慣性質體。當傳感器主體的速度發生變化時，會產生隨著速度變化而變化的力，該力將通過彈簧被施加于慣性質體上。具體來說，首先該力使彈簧發生彎曲，然后元件主體與慣性質體的距離會與加速度成比例地發生變化。
應變加速度傳感器的工作原理會根據主體與慣性質體相對移動的檢測方式的不同而有所差異。電容式傳感器，主體與慣性質體是相互絕緣的，通過測量電容來檢測加速度。當主體與慣性質體之間的距離減小時，電容就會增加，電流會向傳感器的信號處理IC流動。距離增加時，情況則會相反。傳感器可將主體的加速度轉化為電流、電荷、電壓三者之一從而進行測量。
核心技術，傳感器可通過微小的電容變化來進行相關測量，該模式特別適合被用于檢測傳感器的細微運動，且性能。加速度傳感元件是以單晶硅和玻璃為材料制成的，因此傳感器產品可輕松應對使用時間和溫度變化帶來的各種挑戰，具有出色的可靠性和穩定性以及精度。
量程1g的傳感元件能夠承受超過50,000g標準的加速度(1g=地球引力所產生的重力加速度)。電容式的傳感元件不僅能夠測量正負兩個方向的加速度，還能檢測靜止加速度和振動。
應變加速度傳感器和傾斜傳感器的核心部分，是兩個位置對稱的以體型微加工技術制成的具有電容特性的加速度傳感器元件。對稱的結構不僅減小了溫度依賴性和它軸靈敏度，還提升了線性。密封性是通過以陽極接合的方式使晶元相互接合來實現的。
因此，傳感元件的封裝變得更容易，可靠性也更好，同時傳感器內阻尼氣體的使用也成為可能。
